イオナイザ(イオナイザー)靜電気対策機(jī)器 » コントローラー分離型 バータイプ/イオナイザIZT40/41/42/43シリーズ - 製品特長(zhǎng)
■デュアル AC 方式タイプ IZT42 Series( 電位振幅低減仕様)
SMC 獨(dú)自のデュアルAC 方式により、電位振幅を低減。
靜電気に敏感なデバイス等でも靜電気放電(ESD)破壊を考慮した除電が可能。
近距離設(shè)置でも対象ワークに加わる電位振幅を低減。
■常時(shí)エミッタ汚れ検知表示および出力
■外部入力信號(hào)による個(gè)別ON/OFF指令
■外部入力信號(hào)による個(gè)別ON/OFF指令
オートバランス機(jī)能付(イオナイザ本體に內(nèi)蔵、設(shè)置場(chǎng)所を選びません。)
イオナイザから発生したイオンをアースラインから監(jiān)視し、除電エリアのオフセット電圧(イオンバランス)を一定內(nèi)に維持するよう制御。
■使用目的に応じて多彩なローメンテナンスカートリッジを選択可能
エミッタ周囲より圧縮空気を出すことでエミッタの汚れを低減
エミッタ材質(zhì)の種類:タングステン/単結(jié)晶シリコン(シリコンウエハ用)
エミッタカートリッジの種類