獨(dú)自のデュアルAC方式を採(cǎi)用
デュアルAC方式/IZS42
+イオンと-イオンが同時(shí)に放出し、+-が均一にワークに到達(dá)するため電位振幅が小さくなる。
AC方式
同周期で+イオンと-イオンが帯になって、ワークに到達(dá)するため電位振幅が大きくなる。
ガラス基板の除電
定盤からのピックアップ時(shí)、
剝離帯電による靜電破壊を防止
電気基板の除電
ダイシング後のピックアップ時(shí)の剝離帯電による靜電破壊を防止
電気基板の除電
?放電による素子破損の防止
?埃の付著防止
ガラス基板の除電
?貼付、放電による破損の防止
?埃の付著防止
除電後(イオンバランス:±30V以內(nèi))の運(yùn)転モードを選択可能
■省エネ運(yùn)転モード
除電後、イオン発生を停止、消費(fèi)電力を削減。
■連続除電運(yùn)転モード
|その他の特長(zhǎng)
オートバランスセンサにより調(diào)整工數(shù)?メンテナンス工數(shù)の削減
內(nèi)蔵タイプ(標(biāo)準(zhǔn)裝備)
イオナイザ本體に內(nèi)蔵、設(shè)置場(chǎng)所を選びません。
イオナイザから発生したイオンをアースラインから監(jiān)視し、+と?のイオン供給量を調(diào)整することで、除電エリアのオフセット電圧(イオンバランス)を一定內(nèi)に維持するよう制御。
高精度タイプ(オプション)
?ワーク付近のイオンバランスを高精度に調(diào)整。
?設(shè)置高さや外亂の影響による除電エリアのオフセット電圧変化を低減。
?接続した時(shí)だけに調(diào)整を行う「マニュアル運(yùn)転モード」と、接続したまま常時(shí)調(diào)整を行う「オート運(yùn)転モード」を選択可能。
使用目的に応じて多彩なローメンテナンスカートリッジを選択可能