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300mm晶圓對應(yīng)平行密封型閘閥 XGTP
High Vacuum Equipment(zhtw) ? Slit Valves(zhtw)
| 系列 | 使用環(huán)境 壓力 (Pa)(abs) | 使用流體 | 開口窗尺寸 (高x寬) (mm) | 作動(dòng) 壓力 (MPa)(G) |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大氣壓 ～ 10-6 | 惰性氣體 | 50 x 336 | 0.45 ～ 0.6 |
