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Precision Regulator 10-IR

Clean Series/Low-Particle Generation ? Modular F.R./Pressure Control Equipment

    Clean Series


    ?Tension control
    ?Contact pressure control
    ?Setting sensitivity: 0.2% F.S. or less
    ?Repeatability: ±0.5% F.S. or less
SeriesPort sizeSet pressure (MPa)
10-IR10001/80.005 to 0.2
0.005 to 0.4
0.005 to 0.8
10-IR20001/40.005 to 0.2
0.005 to 0.4
0.005 to 0.8
10-IR30001/4, 3/8, 1/20.01 to 0.2
0.01 to 0.4
0.01 to 0.8

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