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膜片閥 高純度製程氣體用 AP
Process Gas Equipment(zhtw) ? Process Gas Equipment(zhtw)
-
?對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等，供給高清淨(jìng)度氣體用途
?做為氣體遮斷閥使用
?接氣體部沒有彈簧，驅(qū)動(dòng)部也被膜片隔離，
流路的死角小，並抑制粉塵的發(fā)生
| 系列 | 型式 | 本體材質(zhì) | 配管連接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 氣控型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 焊接管 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 手動(dòng)操作型 | SUS316L 二次熔煉 | 面密封接頭 焊接管 | 1/4'', 3/8'' 1/2'', 3/4'' |
