閘閥
300mm晶圓對(duì)應(yīng)平行密封型閘閥 XGTP
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?長(zhǎng)壽命：300萬次（常溫時(shí)）
?發(fā)塵量：降低1/5以下（與既有品比）
?維修性提昇
容易更換伸縮囊
可上方簡(jiǎn)易更換閘門設(shè)計(jì)（訂製品）
?安全對(duì)策
採(cǎi)用機(jī)械式端點(diǎn)鎖定機(jī)構(gòu)
| 系列 | 使用環(huán)境 壓力 (Pa)(abs) | 使用流體 | 開口窗尺寸 (高x寬) (mm) | 作動(dòng) 壓力 (MPa)(G) |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大氣壓 ～ 10-6 | 惰性氣體 | 50 x 336 | 0.45 ～ 0.6 |
閘閥 XGT
| 系列 | 使用壓力 範(fàn)圍 (Pa)(abs) | 使用流體 | 開口窗尺寸 (高×寬） (mm) | 作動(dòng) 壓力 (MPa)(G) |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大氣壓 ～ 10-6 | 惰性的真空氣體 | 32 x 222 46 x 236 50 x 336 | 0.45 ～ 0.6 |
