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高真空閥

鋁製高真空L型閥 XLA/C/F/G

    ?採用鋁本體
    　均一的低溫乾燥處理溫度
    　輕量?輕巧型
    　外洩空氣少
    　重金屬污染少
    ?可更換伸縮囊
系列操作方式閥
形式		軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA-2氣控型
單動
(N.C.)		伸縮囊密封無粉塵,
無塵化		16 ～ 80
XLAV-2
(附電磁閥)		氣控型
單動
(N.C.)		伸縮囊密封無粉塵,
無塵化		16 ～ 80
XLC-2氣控型
複動
伸縮囊密封無粉塵,
無塵化		16 ～ 80
XLF-2氣控型
單動
(N.C.)		O形環(huán)密封高速作動,
高作動次數		16 ～ 80
XLFV-2
(附電磁閥)		氣控型
單動
(N.C.)		O形環(huán)密封高速作動,
高作動次數		16 ～ 80
XLG -2氣控型
複動
O形環(huán)密封高速作動,
高作動次數		16 ～ 80

鋁製高真空L型閥 XLA/C-100?160（-1）-X152

    ?伸縮囊耐久性提昇（法蘭尺寸100、 160）
    ?壽命：200萬次
    ?裝置可省空間化
    　排氣方向無制限（閥體側←→伸縮囊側 可兩方向）
    　安裝方向的自由度提昇
    ?輕量?輕巧
系列操作方式閥形式
軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA-100?160-X152氣控型
單動
(N.C.)		伸縮囊密封無粉塵,
無塵化		100，160
XLC-100?160-1-X152氣控型
複動
伸縮囊密封無粉塵,
無塵化		100，160

鋁製高真空L型閥 XL□

    ?耐氟素強。
    ?外洩空氣少
    ?重金屬污染少

    ∗ XLA(V)/C/F(V)/G的法蘭型尺寸16～80已經在2017年9月改型。
    　請選定XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2系列。
系列操作方式閥形式
軸密封
方式		用途法蘭
尺寸
XLA氣控型伸縮囊密封單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		16 ～ 160
XLAV
(附電磁閥)		氣控型伸縮囊密封單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		16 ～ 160
XLC氣控型伸縮囊密封複動Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		16 ～ 160
XLCV
(附電磁閥)		氣控型伸縮囊密封複動Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		16 ～ 80
XLF氣控型O形環(huán)密封單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy16 ～ 160
XLFV
(附電磁閥)		氣控型O形環(huán)密封單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy16 ～ 160
XLG氣控型O形環(huán)密封複動Body : Aluminum alloy16 ～ 80
XLGV
(附電磁閥)		氣控型O形環(huán)密封複動Body : Aluminum alloy16 ～ 80
XLD氣控型伸縮囊密封
O形環(huán)密封		單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		25 ～ 160
XLDV
(附電磁閥)		氣控型伸縮囊密封
O形環(huán)密封		單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		25 ～ 160
XLHManual伸縮囊密封ManualBody : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		16 ～ 50
XLSElectromagneticPressure
balanced
bellow seal		單動
(N.C.)		Body : Aluminum alloy
Bellows : Stainless steel 316L		16, 25

鋁製快速裝卸 高真空L型閥 XLAQ/XLDQ

    ?快速裝卸（不需工具）
系列操作方式軸密封
方式		閥形式
材質法蘭
尺寸
XLAQ氣控型
伸縮囊密封單動
(N.C.)		本體 : 鋁
伸縮囊 : SUS316L		16 ～ 50
XLDQ氣控型
伸縮囊密封
O形環(huán)密封		單動
(N.C.)		本體 : 鋁
伸縮囊 : SUS316L		40, 50

不鏽鋼製高真空L型／直線型閥 XM/XY

    ?無滯留空氣的精密鑄造一體構造
    ?與鋁製高真空L型閥XL系列有安裝互換性（XM系列）

    註）尺寸16沒有直線型
系列操作方式軸密封
方式		閥形式
材質法蘭
尺寸
XMA/XYA氣控型伸縮囊密封單動
(N.C.)		本體 : SCS13
SUS304相當)
伸縮囊 : SUS316L		16 ～ 80 註)
XMC/XYC氣控型伸縮囊密封複動本體 : SCS13
SUS304相當)
伸縮囊 : SUS316L		16 ～ 80 註)
XMD/XYD氣控型伸縮囊密封
O形環(huán)密封		單動
(N.C.)		本體 : SCS13
（SUS304相當)
伸縮囊 : SUS316L		25 ～ 80
XMH/XYH手動伸縮囊密封手動本體 : SCS13
(SUS304相當)
伸縮囊 :SUS316L		16 ～ 50 註)

常時閉型高真空電磁閥 XSA

    ?最低使用壓力: 1 × 10-6 Pa (abs)
    ?洩漏量: 內部1.3 × 10-9 Pa·m3/s、外部 1.3 × 10-11 Pa·m3/s
    ?備有2種類的接頭、母螺牙
    ?消耗電力：最大削減25%
    ?質量：最大削減18% (0.5 kg → 0.41 kg)
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XSA常時閉空氣
惰性氣體		面密封接頭
卡套接頭		1/4, 3/8
XSA常時閉空氣
惰性氣體		母螺牙
(Rc, NPT)		1/8, 1/4, 3/8

緩和開啟閥 XVD

    ?閥與針閥一體化構造，配管空間減少1/4（與既有品比）
    ?薄板部採用金屬膜片，大幅降低粉塵
    ?初期給氣、主給氣都可流量調整
系列閥形式使用流體配管連接方式配管尺寸
XVD常時閉
(加壓開?彈簧密封)		氮氣、 空氣、
惰性氣體等		VCR?
Swagelok?		1/4B

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