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清淨(jìng)氣體過濾器/過濾器

清淨(jìng)空氣過濾器 SF

    ?可以更換濾芯的卡匣式。
    　 (SFA100/200/300, SFB100)
    ?半導(dǎo)體製程用輕巧型的拋棄式產(chǎn)品
    　(SFB300, SFC100)
類型系列使用壓力過濾度
卡匣式
碟型		SFA100/200/300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm
(捕集效率
99.99%)
卡匣式
直線型		SFB100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm
(捕集效率
99.99%)
卡匣式
直線型		SFB200Max.0.99MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		120μm
拋棄式
直線型		SFB300Max.0.99MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm
(捕集效率
99.99%)
拋棄式e
多段碟型		SFC100Max.0.99MPa
（真空：1.3×10－6kPa）		0.01μm
(捕集效率
99.99%)

清淨(jìng)空氣過濾器　中空膜絲濾芯 SFD

    ?內(nèi)藏中空膜絲濾芯
    ?下降壓力：0.03MPa（1次壓0.7MPa、最大流量時）
    ?環(huán)境負(fù)載化學(xué)物質(zhì)削減RoHS對應(yīng)
系列種類使用壓力過濾度
SFD100拋棄式
(濾芯不可更換)		MAX.1.0MPa0.01μm
(捕集效率
99.99%)
SFD200卡匣式
(濾芯可更換)		MAX.1.0MPa0.01μm
(捕集效率
99.99%)

清淨(jìng)空氣模組型 LLB

    ?無塵機(jī)器模組化（削減配管工時／省空間）
    　簡單的可獲得無塵空氣
    ?過濾度：0.01μm（捕集效率99.99%）
    ?流體接觸部：無潤滑脂、無矽
    ?無塵室組裝2重包裝出貨
    ?可有24種類的組合

    註）入口空氣條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級 1.4.1～1.6.1相當(dāng)
系列使用流體設(shè)定壓力流量範(fàn)圍 L/min (ANR)
LLB3無塵空氣
N2氣體 註)		0.05 ～ 0.4MPa5 ～ 100
LLB4無塵空氣
N2氣體 註)		0.05 ～ 0.4MPa50 ～ 500

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