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產(chǎn)品目錄

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工藝氣體元件

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減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器) 高純度工藝氣體用 AP/SL/AP/AZ

    ?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。
    ?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。
    ?接觸氣體部分經(jīng)過(guò)電解研磨處理。
    ?外部金屬密封構(gòu)造。
系列形式用途主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AP/SL一段式管路用(小型)SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
AP/SL一段式管路用SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP/SL一段式大宗氣體用SUS316L面密封接頭
管焊接
1/2'',3/4'',1''
AP/SL一段式一次側(cè)高壓用SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP/SL一段式負(fù)壓調(diào)節(jié)SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP二段式一次側(cè)高壓用SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
AZ一段式管路用SUS316L面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''
AZ一段式一次側(cè)高壓用SUS316L面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''
AZ一段式負(fù)壓調(diào)節(jié)SUS316L面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2''

減壓閥(壓力調(diào)節(jié)器)/背壓閥 一般氣體用 AK/BP

    ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
    ?主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。
系列型號(hào)用途主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AK一段式氣路用SUS316
或黃銅
NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭
1/4'',3/8''
1/2''
AK一段式一次側(cè)高壓用SUS316
或黃銅
NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭
1/4'',3/8''
1/2''
AK一段式負(fù)壓調(diào)節(jié)SUS316
或黃銅
NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭
1/4'',3/8''
1/2''
AK二段式一次側(cè)高壓用SUS316
或黃銅
NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭
1/4''
BP背壓閥SUS316
或黃銅
NPT內(nèi)螺紋
卡套式接頭
1/4''

減壓閥/一般氣體用 AK1000T

    ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
    ?產(chǎn)品體型小、重量輕。
     質(zhì)量:0.52kg、高:97.5mm。
    ?內(nèi)部容積小,其體積存量少。
    ?配管擴(kuò)展品
     可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AK1000T手動(dòng)型SUS316壓縮接頭
Rc, NPT
1/4'',3/8''

膜片閥 高純度工藝氣體用 AP

    ?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。
    ?可作為氣體的切斷閥使用。
    ?接觸氣體部分無(wú)彈簧,驅(qū)動(dòng)部也使用膜片隔離,因此減小了氣路的死區(qū),抑制了粒子的產(chǎn)生。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AP氣控型SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''
AP小型SUS316L
二次熔煉
面密封接頭
管焊接
1/4'',3/8''
1/2'',3/4''

隔膜閥 高純度工藝氣體用 AZ

    ?用于精密洗凈及潔凈室組裝。
    ?全部產(chǎn)品均經(jīng)過(guò)了氦氣泄漏檢測(cè)。
    ?符合SEMI規(guī)格
    ?采用方便作業(yè)的鍛造主體。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AZ氣控型SUS316L面密封接頭
管子焊接
1/4''
3/8''
1/2
AZ手動(dòng)型SUS316L面密封接頭
管子焊接
1/4''
3/8''
1/2

膜片閥 一般氣體用 AK

    ?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。
    ?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。
    ?可用于精密洗凈。
    ?降低執(zhí)行器的高度,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3542, 4542)。
    ?操做通口為M5螺紋(AK3542, 4542)。
    ?手輪構(gòu)造經(jīng)過(guò)改良、實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化(AK3652, 4652)。
    ?采用有凹凸的圓形手輪,更便于操作和確認(rèn)(AK3652, 4652)。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AK氣控型SUS316卡套式接頭
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''
AK手動(dòng)型SUS316卡套式接頭
Rc, R, NPT
1/4'',3/8''

單向閥/真空發(fā)生器/流量開(kāi)關(guān) AP

    [單向閥]
    ?防止背壓使流體逆流。
    ?構(gòu)造簡(jiǎn)單,內(nèi)部的可動(dòng)零部件僅為O形圈。
    ?采用無(wú)彈簧的構(gòu)造,可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒,降低下游的壓力變動(dòng)。
    [真空發(fā)生器]
    ?真空發(fā)生器。
    ?用于更換氣罐時(shí),排出配管中殘余的氣體。
    [流量開(kāi)關(guān)]
    ?檢測(cè)配管破裂等造成的過(guò)剩流量。
系列形式主體材質(zhì)配管連接配管尺寸
AP單向閥SUS316L二次熔煉面密封接頭
管子焊接
1/4'',3/8''
AP真空發(fā)生器SUS316L面密封接頭
管子焊接
1/4'',3/8''
AP流量開(kāi)關(guān)SUS316L二次熔煉
SUS316L
面密封接頭
管子焊接
1/2'',3/4''

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