高真空閥
常閉型高真空電磁閥 XSA
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?最低使用壓力：1×10-6Pa(abs)
?泄漏量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。
?有2種接頭和內(nèi)螺紋可選。
?消耗功率：最多削減25％。
?質(zhì)量：最多減小18％ 0.5kg→0.41kg。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | 面密封接頭 卡套式接頭 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常閉 | 空氣 惰性氣體 | Rc, NPT內(nèi)螺紋 | 1/8, 1/4, 3/8 |
平穩(wěn)排氣閥 XVD
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?閥與針閥一體化，配管空間為原來(lái)的1/4。
?密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產(chǎn)生。
?初始供氣、主給気可同時(shí)進(jìn)行流量調(diào)節(jié)。
| 系列 | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常閉 （加壓開(kāi)?彈簧密封） | 氮?dú)?、空氣?br/>惰性氣體等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
