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氣源處理元件

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直通型空氣過濾器 ZFC5□/7□-X05

    ?使用壓力范圍：－100kPa～1.0MPa
    　1臺即可用于正壓，也可用于真空
    ?帶鎖緊機構(gòu)
    　正壓時，防止由于松動造成的零部件飛出
    ?密封（FKM＋禁油處理）：-X05（訂制品）

    注）供給壓力0.1MPa、差圧30kPa
系列適合管子外徑
公制		適合管子外徑
英制		流量 L/min（ANR）注）
正壓		流量 L/min（ANR）注）
真空壓		過濾精度
（μm）
ZFC5□-X05φ4、φ6φ5/32''、φ1/4''100/20010/205
ZFC7□-X05φ6、φ8 、φ10、φ12φ1/4''、φ5/16''、φ3/8''250/450/550/65030/70/80/1005

潔凈型氣體過濾器 SF

    ?采用可更換濾芯的夾頭型。
    　(SFA100?200?300，SFB100)
    ?半導(dǎo)體工藝用的小型一次性過濾器。
    　(SFB300，SFC100)
形式系列使用壓力過濾精度
夾頭型
圓盤式		SFA100?200?300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
夾頭型
直通式		SFB100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
直通式		SFB300最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）
一次性型
多盤型		SFC100最高0.99MPa
（真空：1.3×10-6kPa）		0.01μm
（捕捉效率99.99％）

潔凈型空氣過濾器　中空類濾芯 SFD

    ?內(nèi)置中空類濾芯
    ?壓降：0.03MPa（1次壓0.7MPa、最大流量時）
    ?減少了污染環(huán)境的化學(xué)物質(zhì)，符合RoHS
    ?金屬殼體型(訂制)
    　不銹鋼殼體、鋁制殼體
系列種類額定流量 L/min (ANR)
(進(jìn)口壓力 0.7 MPa時)		使用壓力過濾精度
SFD100一次性
（不可更換濾芯）		～100L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）
SFD110一次性
（不可更換濾芯）		～120L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）
SFD200卡盒型
（可更換濾芯）		～500L/min最高1.0MPa0.01μm
（捕捉效率：99.99%）

潔凈型空氣模塊 LLB

    ?將潔凈元件模塊化（削減配管工時／省空間）。
    　可輕松地得到潔凈空氣。
    ?過濾精度：0.01μm（捕捉效率99.99％）。
    ?接觸流體部分：無潤滑脂、無硅。
    ?在潔凈室內(nèi)進(jìn)行雙重捆包后出廠。
    ?有24種組合。

    注）入口空氣條件 ISO 8573-1 品質(zhì)等級 相當(dāng)于1.4.1～1.6.1。
系列使用流體設(shè)定壓力流量范圍 L/min（ANR）
LLB3潔凈空氣
N2氣體 注）		0.05～0.4MPa5～100
LLB4潔凈空氣
N2氣體 注）		0.05～0.4MPa50～500

潔凈型空氣模塊 LLB-X100

    ?一體型單元化設(shè)計，減少施工工時
    ?可對應(yīng)最大流量100L/min的小型工件的潔凈空氣吹氣
系列使用流體流量范圍L/min（ANR）
LLB1-525潔凈空氣
N2氣體		0.5?25
LLB1-550潔凈空氣
N2氣體		1?50
LLB1-511潔凈空氣
N2氣體		2?100

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