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惰性氣體、CDA(clean dry air)管路
3色顯示 數(shù)字式流量傳感器/大流量型 PF3A□H（-L）
傳感器/開關 ? 電子式流量開關/傳感器潔凈/低發(fā)塵系列 ? 流量開關
對應IO-Link的元件 ? 數(shù)字式流量開關
產業(yè)用通信元件/無線系統(tǒng) ? 產業(yè)用通信元件 對應IO-Link的元件
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PF3A□H(-L) | 10～1000 20～2000 30～3000 60～6000 120～12000 |
空氣用數(shù)字式流量開關 PF2A
傳感器/開關 ? 電子式流量開關/傳感器無潤滑脂 氮氣（N2）對應元件 ? 流量開關
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PF2A | 1～10 5～50 10～100 20～200 50～500 150～3000 300～6000 600～12000 |
