非接觸チャック XT661
真空用機(jī)器 ? 特殊パッド半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
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?ワークの非接觸搬送をアシスト
?ワーク吸引可能距離：10mm
?2種のタイプを用意
サイクロンタイプ：高リフト力：最大44Ｎ
ベルヌーイタイプ：把持時(shí)のワーク振幅：±0.01mm以下
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
?ワーク吸引可能距離：10mm
?2種のタイプを用意
サイクロンタイプ：高リフト力：最大44Ｎ
ベルヌーイタイプ：把持時(shí)のワーク振幅：±0.01mm以下
