スムーズベントバルブ XVD
高真空機器 ? 高真空バルブノングリース 窒素（N2）対応機器 ? 高真空バルブ
半導(dǎo)體業(yè)界向機器 ? N2ガス／エア供給ライン
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?バルブとニードル弁一體化構(gòu)造配管スペース1/4（従來比）
?シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減。
?初期給気、主給気ともに流量調(diào)整可能。
| シリーズ | 弁形式 | 使用流體 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常時閉 （加圧開?スプリングシール） | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
