ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 排気ライン
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? N2ガス／エア供給ライン
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?ガス溜まりのない精密鋳造一體構(gòu)造。
?アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）
注）ストレート型にサイズ16はありません。
| シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | エア オペレート | ベローズシール | 単動(dòng) （N.C.） | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | エア オペレート | ベローズシール | 複動(dòng) | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動(dòng) （N.C.） | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 手動(dòng) | ベローズシール | 手動(dòng) | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 16～50 注） |
