アルミ製ワンタッチ著脫 高真空L型バルブ XLAQ?XLDQ
高真空機器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機器 ? 排気ライン
半導(dǎo)體業(yè)界向機器 ? N2ガス／エア供給ライン
| シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | エア オペレート | ベローズシール | 単動 （N.C.） | ボディ：アルミ ベローズ：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動 （N.C.） | ボディ：アルミ ベローズ：SUS316L | 40，50 |
