アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
高真空機器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機器 ? 排気ライン
-
?アルミボディ採用
均一なベーキング溫度
軽量?コンパクト
アウトガスが少ない
重金屬汚染が少ない
?ベローズ交換が可能
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLAV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLC-2 | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLF-2 | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 16～80 |
| XLFV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 16～80 |
| XLG-2 | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 16～80 |
アルミ製高真空L型バルブ XL□
高真空機器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機器 ? 排気ライン
-
?フッ素に強い。
?アウトガスが少ない。
?重金屬汚染が少ない。
※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
モデルチェンジしました。
XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願います。
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLAV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLC | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLCV（電磁弁付） | エア オペレート | 複動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLF | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | （80）?100?160 |
| XLFV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | （80）?100?160 |
| XLG | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 100?160 |
| XLGV（電磁弁付） | エア オペレート | 複動 | Oリングシール | 高速作動 高作動回數(shù) | 100?160 |
| XLD | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25～160 |
| XLDV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動 （N.C.） | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過負荷防止 | 25～160 |
| XLH | 手動 | 手動 | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 単動 （N.C.） | (ベローズバランス) | エア不要 可搬裝置用 | 16，25 |
