|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
アルミニウム製高真空L型バルブ XLA/C/F/G
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 排気ライン
-
?アルミボディ採(cǎi)用
均一なベーキング溫度
軽量?コンパクト
アウトガスが少ない
重金屬?zèng)A染が少ない
?ベローズ交換が可能
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLAV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLC-2 | エア オペレート | 複動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～80 |
| XLF-2 | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～80 |
| XLFV-2（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～80 |
| XLG-2 | エア オペレート | 複動(dòng) | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 16～80 |
アルミ製高真空L型バルブ XL□
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 排気ライン
-
?フッ素に強(qiáng)い。
?アウトガスが少ない。
?重金屬?zèng)A染が少ない。
※XLA(V)/C/F(V)/Gのフランジサイズ16～80は2017年9月に
モデルチェンジしました。
XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2シリーズをご選定願(yuàn)います。
| シリーズ | 操作方式 | 弁形式 | 軸シール 方式 | 用途 | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLAV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLC | エア オペレート | 複動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLCV（電磁弁付） | エア オペレート | 複動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 100?160 |
| XLF | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | （80）?100?160 |
| XLFV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | （80）?100?160 |
| XLG | エア オペレート | 複動(dòng) | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 100?160 |
| XLGV（電磁弁付） | エア オペレート | 複動(dòng) | Oリングシール | 高速作動(dòng) 高作動(dòng)回?cái)?shù) | 100?160 |
| XLD | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過(guò)負(fù)荷防止 | 25～160 |
| XLDV（電磁弁付） | エア オペレート | 単動(dòng) （N.C.） | ベローズシール Oリングシール | ダスト巻き上げ防止 ポンプの過(guò)負(fù)荷防止 | 25～160 |
| XLH | 手動(dòng) | 手動(dòng) | ベローズシール | ダストフリー クリーン化 | 16～50 |
| XLS | 電磁式 | 単動(dòng) （N.C.） | (ベローズバランス) | エア不要 可搬裝置用 | 16，25 |
アルミ製ワンタッチ著脫 高真空L型バルブ XLAQ?XLDQ
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 排気ライン
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? N2ガス／エア供給ライン
| シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | エア オペレート | ベローズシール | 単動(dòng) （N.C.） | ボディ：アルミ ベローズ：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動(dòng) （N.C.） | ボディ：アルミ ベローズ：SUS316L | 40，50 |
ステンレス製高真空L型／ストレート型バルブ XM/XY
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 排気ライン
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? N2ガス／エア供給ライン
-
?ガス溜まりのない精密鋳造一體構(gòu)造。
?アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）
注）ストレート型にサイズ16はありません。
| シリーズ | 操作方式 | 軸シール 方式 | 弁形式 | 材質(zhì) | フランジ サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | エア オペレート | ベローズシール | 単動(dòng) （N.C.） | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | エア オペレート | ベローズシール | 複動(dòng) | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | エア オペレート | ベローズシール Oリングシール | 単動(dòng) （N.C.） | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 手動(dòng) | ベローズシール | 手動(dòng) | ボディ：SCS13（SUS304相當(dāng)） ベローズ：SUS316L | 16～50 注） |
常時(shí)閉型高真空電磁弁 XSA
流體制御用機(jī)器 ? 小型2?3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 高真空バルブ
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? N2ガス／エア供給ライン
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?最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
?リーク量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
?2種の継手、めねじを用意
?消費(fèi)電力：最大25％削減
?質(zhì)量：最大18％削減 0.5kg→0.41kg
| シリーズ | 弁形式 | 使用流體 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常時(shí)閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常時(shí)閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
スムーズベントバルブ XVD
高真空機(jī)器 ? 高真空バルブノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 高真空バルブ
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? N2ガス／エア供給ライン
-
?バルブとニードル弁一體化構(gòu)造配管スペース1/4（従來(lái)比）
?シート部にメタルダイヤフラム採(cǎi)用でパーティクルを大幅低減。
?初期給気、主給気ともに流量調(diào)整可能。
| シリーズ | 弁形式 | 使用流體 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常時(shí)閉 （加圧開(kāi)?スプリングシール） | 窒素、空気、 不活性ガス等 | VCR? Swagelok? | 1/4B |
スリットバルブ XGT
高真空機(jī)器 ? スリットバルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
-
?半導(dǎo)體裝置などにおける、ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよびトランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています。
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開(kāi)口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動(dòng)圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大気圧～10-6 | 不活性ガス系の真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
300mmウエハ対応平行シール型スリットバルブ XGTP
高真空機(jī)器 ? スリットバルブ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
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?長(zhǎng)壽命：300萬(wàn)回（常溫時(shí)）
?発塵量：1/5以下に低減（従來(lái)品比）
?メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能（オーダーメイド）
?安全対策
メカ式エンドロック機(jī)構(gòu)採(cǎi)用
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力 Pa（abs） | 使用流體 | 開(kāi)口窓寸法 （高さ×幅）mm | 作動(dòng)圧力 MPa（G） |
|---|---|---|---|---|
| XGTP | 大気圧～10-6 | 不活性ガス | 50×336 | 0.45～0.6 |
真空ロッドレスシリンダ CYV
高真空機(jī)器 ? 真空ロッドレスシリンダ半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? スリットバルブ?搬送
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?真空環(huán)境內(nèi)（1.3×10-4Pa）での搬送に使用可能なエアシリンダ。
| シリーズ | 使用環(huán)境圧力｛Pa（ABS）｝ | チューブ內(nèi)徑（mm） |
|---|---|---|
| CYV | 大気～1.3×10-4 | 15，32 |
