|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
エアフィルタ 10-/21-AF
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|
| 10-AF20～60 | 1/8， 1/4， 3/8， 1/2， 3/4，1 | 5 |
| 21-AF20～60 | 1/8， 1/4， 3/8， 1/2， 3/4，1 | 5 |
ミストセパレータ 10-/21-AFM
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|
| 10-AFM20～40 | 1/8，1/4， 3/8， 1/2， 3/4 | 0.3 |
| 21-AFM20～40 | 1/8，1/4， 3/8， 1/2， 3/4 | 0.3 |
マイクロミストセパレータ 10-/21-AFD
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|
| 10-AFD20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4 | 0.01 |
| 21-AFD20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4 | 0.01 |
レギュレータ 10-/21-AR
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) |
|---|---|---|
| 10-AR20～60 | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 |
| 21-AR20～60 | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 |
逆流機(jī)能付レギュレータ 10-/21-AR
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) |
|---|---|---|
| 10-AR20K～60K | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 |
| 21-AR20K～60K | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4，1 | 0.05～0.85 |
フィルタレギュレータ 10-/21-AW
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|---|
| 10-AW20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4 | 0.05～0.85 | 5 |
| 21-AW20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4 | 0.05～0.85 | 5 |
逆流機(jī)能付フィルタレギュレータ 10-/21-AW□K
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|---|
| 10-AW20K～40K | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4 | 0.05～0.85 | 5 |
| 21-AW20K～40K | 1/8，1/4，3/8，1/2，3/4 | 0.05～0.85 | 5 |
ミストセパレータレギュレータ 10-/21-AWM
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|---|
| 10-AWM20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 | 0.3 |
| 21-AWM20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 | 0.3 |
マイクロミストセパレータレギュレータ 10-/21-AWD
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) | ろ過度 (μm) |
|---|---|---|---|
| 10-AWD20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 | 0.01 |
| 21-AWD20～40 | 1/8，1/4，3/8，1/2 | 0.05～0.85 | 0.01 |
直動(dòng)精密レギュレータ 10-/21-ARP
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
クリーンシリーズ
?設(shè)定感度0.2％F.S.以內(nèi)。
?省エネルギー空気消費(fèi)量80％減 (當(dāng)社比)
?繰り返し性±1％F.S.以內(nèi) (or±3kPa以內(nèi))
?逆流機(jī)能付 (ARP20K?30K?40K)
?電磁弁とシリンダ間に取付可能。
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力範(fàn)囲 |
|---|---|---|
| 10-/21-ARP20 (K) | 1/8?1/4 | 0.005～0.4MPa 0.005～0.2MPa 0.005～0.6MPa |
| 10-/21-ARP30 (K) | 1/4?3/8 | 0.005～0.4MPa 0.005～0.2MPa 0.005～0.6MPa |
| 10-/21-ARP40 (K) | 1/4?3/8?1/2 | 0.005～0.4MPa 0.005～0.2MPa 0.005～0.6MPa |
精密レギュレータ 10-IR
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
クリーンシリーズ
?テンションコントロール
?接圧コントロール
?設(shè)定感度：0.2% F.S.以內(nèi)
?繰返性±：0.5% F.S.以內(nèi)
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (MPa) |
|---|---|---|
| IR1000-A | 1/8 | 0.005～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
| IR2000-A | 1/4 | 0.005～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
| IR3000-A | 1/4，3/8，1/2 | 0.01～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
| IR1200-A | 1/8 | 0.02～0.2 0.02～0.4 0.02～0.8 |
| IR2200-A | 1/4 | 0.02～0.2 0.02～0.4 0.02～0.8 |
| IR3200-A | 1/4，3/8，1/2 | 0.02～0.2 0.02～0.4 0.02～0.8 |
| 10-IR1000 | 1/8 | 0.005～0.2 0.005～0.4 0.005～0.8 |
| 10-IR2000 | 1/4 | 0.005～0.2 0.005～0.4 0.005～0.8 |
| 10-IR3000 | 1/4，3/8，1/2 | 0.01～0.2 0.01～0.4 0.01～0.8 |
真空レギュレータ 10-IRV
クリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
クリーンシリーズ
?真空ラインの圧力制御が可能。
?一面配管仕様をシリーズ化。
?質(zhì)量20％減（従來比）
?ワンタッチ管継手內(nèi)蔵。
?クリップ固定式により圧力計(jì)?デジタル圧力スイッチの著脫が容易。
?圧力計(jì)?デジタル圧力スイッチの取付方向変更が可能（標(biāo)準(zhǔn)配管仕様のみ）
?圧力計(jì)?デジタル圧力スイッチの取付角度（60°刻み）変更が容易。
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力 (kPa) |
|---|---|---|
| 10-IRV | φ6，φ8，φ1/4，φ5/16 | -100～-1.3 |
| 10-IRV20 | φ6，φ8，φ10，φ1/4，φ5/16，φ3/8 | -100～-1.3 |
クリーンレギュレータ SRH
モジュラF.R.L.／圧力制御機(jī)器 ? レギュレータクリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 圧力制御機(jī)器
圧力制御機(jī)器 ? レギュレータ
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 冷卻水ライン
-
?コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。
?禁油。
?2種類のダイヤフラム材質(zhì)：PTFE、フッ素ゴム。
| シリーズ | リリーフ機(jī)構(gòu) | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|
| SRH | ノンリリーフ | Rc1/8，1/4，3/8，1/2 9/16-18UNF，7/8-14UNF | 低圧タイプ：0.02～0.2 高圧タイプ：0.05～0.7 |
| SRH | リリーフ | Rc1/8，1/4，3/8，1/2 | 低圧タイプ：0.02～0.2 高圧タイプ：0.05～0.7 |
精密クリーンレギュレータ SRP
モジュラF.R.L.／圧力制御機(jī)器 ? レギュレータクリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
圧力制御機(jī)器 ? レギュレータ
-
?高精度?低消費(fèi)流量のステンレスレギュレータ。
?ブリード量0.5L/min（ANR）以下（出口圧力：0.2MPa時(shí)）
?設(shè)定感度：0.3％F.S.
?繰返し性：1％F.S.
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力（MPa） |
|---|---|---|
| SRP | M5，1/8 | 低圧タイプ：0.005～0.2 高圧タイプ：0.01～0.4 |
