|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
汎用流體用圧力センサ PSE56□
スイッチ／センサ／コントローラ ? 電子式圧力スイッチ／センサ（センサ?アンプ分離型）ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 圧力スイッチ
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 冷卻水ライン
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?接液部SUS316L
?IP65
?幅広い流體に適応。
?アナログ出力（電圧／電流）
?低リーク。フェースシール、コンプレッション継手の選択可能。
| シリーズ | 種類 | 定格圧力範(fàn)囲 |
|---|---|---|
| PSE561 | 真空?qǐng)R | 0～－101kPa |
| PSE563 | 連成圧 | －100～100kPa |
| PSE564 | 正圧 | 0～500kPa |
| PSE560 | 正圧 | 0～1MPa |
