|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
常時(shí)閉型高真空電磁弁 XSA
流體制御用機(jī)器 ? 小型2?3ポートソレノイドバルブ／エアオペレートバルブ高真空機(jī)器 ? 高真空バルブ
ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 高真空バルブ
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? N2ガス／エア供給ライン
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?最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
?リーク量：內(nèi)部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s
?2種の継手、めねじを用意
?消費(fèi)電力：最大25％削減
?質(zhì)量：最大18％削減 0.5kg→0.41kg
| シリーズ | 弁形式 | 使用流體 | 配管接続方式 | 配管サイズ |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常時(shí)閉 | 空気 不活性ガス | フェースシール継手 コンプレッション継手 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常時(shí)閉 | 空気 不活性ガス | Rc, NPTめねじ | 1/8, 1/4, 3/8 |
