|クリーンルーム用機(jī)器
|クリーンブロー用機(jī)器
|ノングリース機(jī)器
クリーンレギュレータ SRH
モジュラF.R.L.／圧力制御機(jī)器 ? レギュレータクリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
ノングリース 窒素（N2）対応機(jī)器 ? 圧力制御機(jī)器
圧力制御機(jī)器 ? レギュレータ
半導(dǎo)體業(yè)界向機(jī)器 ? 冷卻水ライン
-
?コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。
?禁油。
?2種類(lèi)のダイヤフラム材質(zhì)：PTFE、フッ素ゴム。
| シリーズ | リリーフ機(jī)構(gòu) | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力（MPa） |
|---|---|---|---|
| SRH | ノンリリーフ | Rc1/8，1/4，3/8，1/2 9/16-18UNF，7/8-14UNF | 低圧タイプ：0.02～0.2 高圧タイプ：0.05～0.7 |
| SRH | リリーフ | Rc1/8，1/4，3/8，1/2 | 低圧タイプ：0.02～0.2 高圧タイプ：0.05～0.7 |
精密クリーンレギュレータ SRP
モジュラF.R.L.／圧力制御機(jī)器 ? レギュレータクリーン／低発塵 ? モジュラF.R./圧力制御機(jī)器
圧力制御機(jī)器 ? レギュレータ
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?高精度?低消費(fèi)流量のステンレスレギュレータ。
?ブリード量0.5L/min（ANR）以下（出口圧力：0.2MPa時(shí)）
?設(shè)定感度：0.3％F.S.
?繰返し性：1％F.S.
| シリーズ | 管接続口徑 | 設(shè)定圧力（MPa） |
|---|---|---|
| SRP | M5，1/8 | 低圧タイプ：0.005～0.2 高圧タイプ：0.01～0.4 |
