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省エネ
業(yè)種?工程別
結(jié)晶Si系製造工程
薄膜Si系製造工程
用途別
|
ラミネート＆封止
13
真空狀態(tài)で熱と圧力を掛け
半完成品つくる。
駆動(dòng)機(jī)器
低真空
省配線
センサ（検出）
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