1洗浄
Si基板表面に付著しているゴミ、汚れをおとす。
2バルク接合
Si基板表面の傷(ダメージ 層)を除去し、平坦にする。
3テクスチャ形成
表面に凹凸を形成。表面の受光面にミクロなピラミッド構(gòu)造を形成させフラットな表面より受光面積を増やす。
4乾燥
ブローにより乾燥させる。
Copyright © SMC Corporation. All Rights Reserved.