真空用元件 » 真空系統(tǒng)用相關(guān)元件 - 從元件一覽中選擇 » 2色顯示式數(shù)字式流量開關(guān)
2色顯示 數(shù)字式流量開關(guān) PFM
傳感器/開關(guān) ? 電子式流量開關(guān)/傳感器無潤滑脂 氮?dú)猓∟2）對(duì)應(yīng)元件 ? 流量開關(guān)
-
?可用于空氣、N2、Ar、CO2
?無潤滑脂規(guī)格。
?與流量調(diào)整閥一體化。
?體積小、重量輕、省空間。
※PFM系列于2022年3月停止生產(chǎn)。
請(qǐng)選擇PF2M710/725/750/711系列。
安全注意事項(xiàng) 壓力開關(guān)?流量開關(guān)/共通注意事項(xiàng)
流量開關(guān)擴(kuò)展品 特定開發(fā)品信息 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
流量開關(guān)擴(kuò)展品 特定開發(fā)品信息 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFM | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （ ）為CO2的場合 |
流量傳感器 PFMV5/PFGV301
傳感器/開關(guān) ? 電子式流量開關(guān)/傳感器無潤滑脂 氮?dú)猓∟2）對(duì)應(yīng)元件 ? 流量開關(guān)
-
?微小工件的吸著確認(rèn)
?重復(fù)精度±2%F.S.
?響應(yīng)速度：5ms以下、耐壓：500kPa
?無潤滑脂、RoHS對(duì)應(yīng)
?電壓顯示器 1個(gè)可對(duì)應(yīng)全部量程
?相關(guān)元件：真空過濾器 ZFC050系列
安全注意事項(xiàng) 壓力開關(guān)?流量開關(guān)/共通注意事項(xiàng)
流量開關(guān)擴(kuò)展品 特定開發(fā)品信息 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
流量開關(guān)擴(kuò)展品 特定開發(fā)品信息 環(huán)保認(rèn)證(RoHS)
| 系列 | 額定流量范圍（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0.0～0.1 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
