■可進(jìn)行非接觸搬運(yùn)。
■用于玻璃基板等不允許有吸附痕跡的工件、太陽能電池板等有凹凸形狀的工件及有孔的工件。
■用于紙等有通氣型的工件、薄膜等薄工件的搬運(yùn)。
■無潤滑脂